高低温探针台

     中国台湾奕叶CG-196高低温探针台的探针座架设在真空腔体外侧，在不破坏温度及真空环境的情况下，随着元件的冷缩热膨，探针座可配合将探针做重复修改下针. 为消除来自于真空帮浦及地的震动，内置主动气浮式防震桌. 探针座少2 组多8 组，真空10exp-3  Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔体正压到达10atm，超低温达4度K  ，超高温达1200°C，除了DC直流pA应用之外，RF射频也能胜任到40GHz.适合感知器，航太及军事 精密产品电特性分析。

在真空环境下，探针台有两种应用：

一、超低温情况下：

由于晶圆在超低温情况下进行探测，水气将会出现并且将会冻结晶圆。水气将会影响测量，导致测量失败。真空仓中的水气将通过真空泵排出，真空泵必须具备长时间测量的要求。

二、高温情况下：

       当晶圆加热超过300摄氏度， 400摄氏度， 500摄氏度或者更高温度时，会发生很强烈的氧化。温度越高，越加大硅片表面的氧化，氧化将使晶圆降低电学性，物理性和机械性。真空仓中的氧气通过真空泵来排出。真空泵必须能够保持长时间的测量要求。

由于卡盘将被热量所控制，应用于超低温和高温的环境，在晶圆上探针由于晶圆的收缩和膨胀，将需要一定的改变位置。因此，一些探针将需要通过真空仓之外的探针座的三轴控制旋钮重新定位。外部的机动探针座可通过拉杆控制系统轻松地重新定位真空仓中的探针。

三、特点：

• 三种温度范围可选择：
  77K—480K  (-196℃—200℃)
  77K—780K  (-196℃—500℃)
  77K—1080K (-196℃—800℃)

• 所有框架采用焊接以坚固的结构

• 通过外置探针座来控制探针重新定位

• 桥型结构显微镜以方便打开真空仓

• 显微镜可通过镜台控制地移动，X-Y轴移动范围 1英寸—1英寸

• 可升级到6个探针座
  

• 双屏蔽chuck高低温时达到10pA精度

• 可选择防震桌

• 可选择高真空仓
  

四、规格：

l 卡盘直径40mm

l 温度的精度为0.1度

l 液氮瓶50升

l 探针座X-Y-Z三轴移动范围：25mmx25mmx25mm，精度10微米

l 显微镜X-Y轴移动范围：1英寸x1英寸

l 连续变焦：0.8X—5X 

l 目镜：20X

l 总放大倍数：16X—100X

l 150W灯源箱

l 双分支鹅颈管灯源

l 尺寸：1300mm长x1100mm宽x1500mm高

 重量：300Kg

五、操作说明：

l 温度控制单元：

当需要温度达到室温以下时，卡盘需要通过液氮来降温以达到温度低于事先设置的温度。比例积分微（PID）分控制器可以的控制温度来加热卡盘中的热敏器件。

l 液氮单元

氮气是必须有的，通过氮气加压真空瓶来推动液氮的流出，液氮的容量可以通过氮气的压强、液氮的进气阀和出气阀来控制。

l 真空仓单元

真空仓可通过真空泵产生10-3 托的压强提供给超低温的应用；

BNC母接头用来连接探测设备的信号装置；

真空泵可提供排气过滤作用，以避免污染客户的环境；

l 探针座单元

所有探针座都在真空仓外设置，这将帮助工程师在真空组织下进行探测时不用排出真空仓内的气体。特别是，当温度降低的时候，晶圆开始收缩，探针已经离开需要探测的测试样品，工程师需要重新设置探针，将探针扎到测试样品上。

l 显微镜单元：

显微镜可以通过桥梁结构移动到旁边，以方便打开真空仓的盖子。显微镜可以通过真空仓上面得窗口观察，

灯光可以通过阶梯式旋钮控制亮度，双分支鹅颈式光纤引导源可以用于定位及分离目标。